Anlagenzubehör

KATHODEN

COTEC^® liefert Ersatz- und Verschleißteile für die Ionenquellen MARK I und MARK II:

Filamente/Kathoden

Art.-Nr.	Beschreibung	eBeam-Kanone	System
23008VT	U6LQ	ESV6	Leybold, Spirale-U-Shape gerade
23005VT	W14	ESV14	Leybold, 90˚
23009VT	U110	ESQ110	Balzers, Spirale U-Shape geschliffen
23018VT	U295	295	Telemark/Temescal, Spirale U-Shape